刘晓为（教授）的个人简介
刘晓为，现任哈尔滨工业大学航天学院博士生导师，总装微纳米技术专家组成员，总装军用电子元器件型谱系列专家组成员，电子学会敏感技术分会力敏专业委员会副主任，东北微机电系统（MEMS）技术联合体副秘书长，《传感器技术》 编委，黑龙江省政协委员。
人物经历
1978-1982年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件专业获学士学位
1984-1988年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件与微电子学专业获硕士学位
1988-1992年：哈尔滨工业大学航天学院讲师
1992-1999年：哈尔滨工业大学航天学院副教授
1999-2003年：哈尔滨工业大学航天学院教授
2003- 2014年：哈尔滨工业大学航天学院博士生导师
研究方向
从事MEMS、传感器与执行器及集成电路领域研究，包括： 1.MEMS CAD技术：MEMS微结构模拟仿真与优化设计，包括力、流体、温度和电磁场等分析； 2.传感器ASIC接口电路集成技术：通过集成电路芯片设计及加工实现传感器与电路的集成化，包括模拟电路和数模混合电路芯片设计； 3.MEMS多功能传感器技术：包括压力-温度、声-振动和自检测压力等传感器； 4.MEMS微驱动和微执行器技术：包括PZT压电厚膜驱动和微阀、微泵等； 5.MEMS SOC技术研究：包括微流体测控系统和微生化分析系统等； 6.生物芯片技术。
论著成果
[1]刘晓为等, 硼掺杂多晶硅薄膜电阻率的温度特性, 半导体学报, 1994,15（6）:429-434
[2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149
[3]刘晓为等, 电容式加速度传感器的计算机模拟, 压电与声光, 2001.10:170~172
[4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICTu201998. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
[5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICTu201998. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
[6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICTu201998. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
[7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMIu201999. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08.
[8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.
[9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.
[10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05.
